沈天慧(中)在实验室工作
20世纪50年代初,沈天慧为我国东北工矿企业分析地下水质和钼矿,稀土铁矿等矿藏资源,觧决了不少实际问题。自从锗晶体管问世以后,国际上热衷于探索比锗性能更好的新型半导体材料,因此50年代掀起了研制硅材料的热门课题。1956年党中央制订的新中国第一个十二年科学发展规划,其中发展半导体亊业,为跟上国际歩伐,选中以硅材料研究为起步,国内对这方面的研究还是空白。因此,中科院派她去前苏联科学院冶金研究所进修半导体材料二年。学成回国后,她在应用化学研究所开展了用三氯氢硅法研制半导体高纯硅,以2个“9”的粗硅为原料,用化学方法使其形成易挥发的氯化物,然后经过分镏、吸附等手段将杂质分离出去,再用氢气将氯化物还原成硅,其纯度可达6个“9”以上,即可用来做硅器件。在那段日子里,沈天慧夜以继日,一天24小时跟班劳动,科研地点在山洞里,潮湿异常,条件相当艰苦。从东北到西北工作35年,沈天慧自此得了严重的关节炎,但她基本掌握了当时还是世界科学尖端的半导体材料研制技术,研制成功高纯半导体材料硅,填补了国内空白,跟上国际歩伐。上世纪70年代为了航空亊业的需要,科研由半导体材料转向半导体器件,即研究出大规模集成电路并研制出国内第一块1K隨机存储器4K固定存贮器和16位运算逻辑部件,为我国发展微电子亊业起了推动作用。
资料来源:丹心永留的沈天慧院士.中国科学院网站,2011-02-28
1980年,沈天慧(中)在航天部陕西微电子研究所接待美国宇航局科学家(陕西临潼)
1966年,中国科学院筹建航天事业,其中包括半导体硅材料和硅器件及微型计算机的研究。为此,沈天慧于1966年从长春应用化学所调往北京筹建156工程处,也就是后来的航天工业部771研究所,又名骊山微电子公司,沈天慧也随之迁到三线(陕西省临潼县)建所。“文化大革命”中,沈天慧虽一度受到冲击,但她在逆境中仍坚持工作。10年间,她一直从事硅器件材料的制备工作,并开辟了磁叠片存储器和玻璃半导体记忆材料的研究。1972年她发表了《玻璃半导体记忆材料的研究》论文,在国内处于领先地位。
从20世纪70年代开始,集成电路研制取得迅猛发展,它在现代科学技术、工业生产、信息传递和存贮、国防和人民生活等方面都发挥了重要的作用,尤其是大规模集成电路和超大规模集成电路的出现,引起了再一次工业革命。1974年,为了航天事业的需要,沈天慧的工作由半导体材料转向大规模集成电路的工艺研究,她又一次为了适应国家的需要而改专业。
资料来源:沈天慧:用半导体改变国人生活.嘉兴院士,浙江大学出版社,2015年12月
在上海寓所(1993年3月3日)
沈天慧在工作上对同志们严格要求,但是生活中却满腔热情,平易近人,大家都亲切地叫她“老沈”。“我这个人喜欢生活简单一些,对事业专注些,人更容易快乐。”沈天慧一生简朴,没有什么业余爱好,除了搞科研就喜欢跑图书馆,她到上海几十年,只逛过一回南京路,家里也没请钟点工,简单家务都是自己做。比起科学家,她更像一位邻居家上了年纪的祖母,但是双眸的灵气显出了她深厚的学养,有一种让人崇敬和亲近的魅力。
资料来源:沈天慧:用半导体改变国人生活.嘉兴院士,浙江大学出版社,2015年12月
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