百年院士名录
沈天慧
半导体化学家
半导体化学家
1923.4.27-2011.1.2
浙江嘉善人
1949年毕业于上海大同大学
1957年至1959年留学苏联
1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。
沈天慧参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966－1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，制出直径为2mm的微马达。
获国家级奖励三项，部级奖励四项。
1949年毕业于上海大同大学
1957年至1959年留学苏联
1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。
沈天慧参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966－1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，制出直径为2mm的微马达。
获国家级奖励三项，部级奖励四项。
